光学平台最广泛使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定(静态)力的情况下，柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力(振动)的情况下，柔量则可以定义为受激振幅(角度或线性错位)与振动力振幅的比值。平台的任意挠度都可以通过安装在平台表面的部件相对位置变化表现出来。因此，根据定义，柔量值越小，光学平台就越接近设计的首要目标:将挠度最小化。柔量是与频率相关的，其测量单位为没单位力的错位量(米/牛顿)。